一种芯片晶圆生产用清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片晶圆生产用清洗装置,包括装置主体,所述装置主体的侧端外表面设置有空气泵,所述空气泵的侧端设置有水泵,所述水泵的侧端外表面设置有清洗液箱,所述装置主体的上端外表面设置有盖板,所述装置主体与盖板的连接处设置有合页,所述盖板的前端外表面设置有手柄。本实用新型所述的一种芯片晶圆生产用清洗装置,通过固定杆与伸缩杆以及夹具的配合,可根据芯片尺寸的大小进行调节伸缩杆的上端,通过交叉的固定杆与夹具的配合可使芯片稳定的固定在金属网板上,且减小装置主体的局限性,通过密封板与二号凹槽以及离子风棒的配合,在装置主体运行前可清除装置主体内部的静电,防止静电对芯片造成损伤。
基本信息
专利标题 :
一种芯片晶圆生产用清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022096233.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-23
授权号 :
CN213701023U
授权日 :
2021-07-16
发明人 :
任晓伟
申请人 :
复汉海志(江苏)科技有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市盐都区智能终端产业园3期N-5
代理机构 :
盐城平易安通知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈彩芳
优先权 :
CN202022096233.X
主分类号 :
B08B3/10
IPC分类号 :
B08B3/10 B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67 H05F3/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
法律状态
2021-07-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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