一种用于晶圆盒智能搬运设备的机械手
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于晶圆盒智能搬运设备的机械手，包括第一动力驱动装置、第二动力驱动装置、第一机械臂、第二机械臂以及第三机械臂，第三机械臂安装在第二机械臂内部，第一动力驱动装置与用于驱动第一机械臂转动的动力传输装置相连，第二动力驱动装置与用于驱动第二机械臂、第三机械臂的动力传输装置相连，本实用新型利用两组动力传输装置控制多组机械臂传动进行晶片搬运，大大节省人力，提高工作效率，且通过机械搬运提高安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆盒智能搬运设备的机械手
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122547912.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-22
授权号 ：
CN216422565U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
赵建勇
申请人 ：
江苏睿新库智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山开发区章基路189号3-107室
代理机构 ：
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 ：
段文静
优先权 ：
CN202122547912.9
主分类号 ：
B25J11/00
IPC分类号 ：
B25J11/00 B25J18/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J11/00
不包含在其他组的机械手
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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