一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆物料盒，包括盒体和锁杆；盒体具有存放腔，存放腔的腔壁开设有承托晶圆框架的水平支撑槽；水平支撑槽形成有供晶圆框架进出的进出口；锁杆设置有沿竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；锁杆可在其自重下相对盒体下降至其底端伸出盒体的底面的第一位置，锁杆还可相对盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在锁杆位于第一位置时，封堵部正对进出口从而封堵进出口；在锁杆位于第二位置时，水平避让槽正对进出口从而打开进出口。本实用新型能在不需要额外对晶圆盒内的晶圆进行锁定或者锁定的装置进行操作的情况下，自动对放入其中的晶圆框架内的晶圆锁定和解锁锁定；本实用新型还公开了晶圆物料盒搬运设备。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921629311.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-27
授权号 ：
CN210913451U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
邢家川张震汪世军李彬
申请人 ：
深圳赛意法微电子有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区福保街道福田保税区桃花路16号
代理机构 ：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
成婵娟
优先权 ：
CN201921629311.9
主分类号 ：
B65D25/10
IPC分类号 ：
B65D25/10 B65G47/90
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
B65D25/10
将物件定位在容器内的装置
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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