一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置

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摘要

本实用新型公开了一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板。本实用新型本实用新型能够对晶圆进行智能搬运，能够对不同大小的晶圆进行搬运，提高了实用性，而且能够根据不同距离进行调节下料搬运距离，提高了便捷性。

基本信息

专利标题：

一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920766035.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-27

授权号：

CN209571398U

授权日：

2019-11-01

发明人：

徐峥

申请人：

南阳凯鑫光电股份有限公司

申请人地址：

河南省南阳市信臣西路569号

代理机构：

北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王志敏

优先权：

CN201920766035.4

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677