玻璃晶圆的吸附装置

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摘要

本实用新型公开了一种玻璃晶圆的吸附装置，包括吸附头，所述吸附头具有吸附腔和与玻璃晶圆直接接触的吸附口，所述吸附头上还设置有一块状结构，所述块状结构内形成有与所述吸附腔连通的气道，所述吸附腔内密布有若干用于支撑晶圆片的支柱，本实用新型的吸附装置能够在玻璃晶圆还未完全冷却的情况下，从模具上将其吸取出来,从而避免玻璃晶圆成型过程中的诸多不利影响并缩短生产时间提高生产效率，另外,还能够作为晶圆片的转运工具,将未模制的晶片运送到模具上进行模制。

基本信息

专利标题：

玻璃晶圆的吸附装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020048635.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-09

授权号：

CN211350609U

授权日：

2020-08-25

发明人：

雅各布·基布斯加德彼得·克罗内·尼尔森西蒙·博·延森米加·索博尔唐嘉乐托马斯·艾博

申请人：

瑞声通讯科技（常州）有限公司

申请人地址：

江苏省常州市出口加工区新纬一路

代理机构：

广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

舒剑晖

优先权：

CN202020048635.X

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/56