IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置
授权
摘要
本实用新型提供一种IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置，基座和设置在基座上的摆臂和DD马达电机模组，摆臂包括第一摆臂和第二摆臂，第一摆臂和第二摆臂的前端分别设置有第一吸嘴和第二吸嘴，DD马达电机模组包括旋转模组和摆臂模组，摆臂模组包括第一摆臂模组和第二摆臂模组，第一摆臂模组由第一音圈电机驱动第一摆臂上下移动，第二摆臂模组第二音圈电机驱动第二摆臂上下移动。本实用新型提供的IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置，通过第一摆臂和第二摆臂的双摆臂实现两个摆臂由两个独立的音圈电机驱动，独立下压吸嘴吸附晶圆操作，并通过DD马达电机模组实现两组吸晶摆臂交替式换位，交替吸晶，吸晶与固晶同时进行作业，提高工作效率。
基本信息
专利标题 ：
IC固晶机摆臂吸晶系统和晶圆搬运装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123053995.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-07
授权号 ：
CN216354135U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
曹国光曹皇东薛大利王昂
申请人 ：
东莞市华越自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市横沥镇长田路43号1号楼301室
代理机构 ：
广东恩典律师事务所
代理人 ：
张绍波
优先权 ：
CN202123053995.2
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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