固晶旋转摆臂装置
授权
摘要
本申请提供了一种固晶旋转摆臂装置，包括旋转座、驱动所述旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于所述旋转座上的摆臂机构；所述摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹、支撑所述气动夹的支撑臂和驱动所述气动夹转动的校正调节机构，所述支撑臂安装于所述旋转座上，所述校正调节机构与所述支撑臂相连。本申请提供的固晶旋转摆臂装置，通过设置校正调节机构来驱动气动夹转动，进而带动气动夹上的吸嘴转动，以调节晶片的角度，从而可以实现晶片角度精确调节，以使各晶片固晶时角度一致，进而提升固晶质量，质量一致性好。
基本信息
专利标题 ：
固晶旋转摆臂装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020244072.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-02
授权号 ：
CN211295052U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
胡新荣
申请人 ：
深圳新益昌科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐汉华
优先权 ：
CN202020244072.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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