一种旋转式固晶装置
授权
摘要
本实用新型公开一种旋转式固晶装置，包括固晶臂、弹片和驱动装置，所述固晶臂安装有吸取晶片的吸嘴；所述驱动装置与固晶臂通过弹片形成转动副连接。本实用新型的旋转式固晶装置全部与电机刚性连接，速度快，精度高，由转动代替了直线移动，负载变小，无磨损，可长期保持高精度。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转式固晶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021834554.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-26
授权号 ：
CN212303617U
授权日 ：
2021-01-05
发明人 ：
唐文轩曾智军王平
申请人 ：
深圳市微恒自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区富盛路14号B栋101、201、202、301
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
彭西洋
优先权 ：
CN202021834554.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/683 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-01-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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