一种光罩储存柜
授权
摘要
本实用新型公开了一种光罩储存柜，包括柜体，所述柜体包括存放台，所述存放台形成有凹槽，光罩传送盒存放于所述存放台时，所述光罩传送盒的四个角置于所述凹槽处；所述凹槽内安装有干燥气体吹出装置。本实用新型通过在光罩储存柜的存放台设置凹槽，并在凹槽内安装干燥气体吹出装置，实现了对光罩传送盒存放时的实时清洁，尤其是对光罩传送盒的四个容易产生颗粒的角，避免了颗粒可能随光罩传送盒被带到主机台的搭载台上，进而对光罩产生污染，从而避免了因此而可能产生的损失，本实用新型结构简单，改成成本低，便于在集成电路工厂内广泛使用。
基本信息
专利标题 ：
一种光罩储存柜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122619578.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
CN216702024U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
刘向南朱琪
申请人 ：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
戴广志
优先权 ：
CN202122619578.3
主分类号 ：
A47B81/00
IPC分类号 ：
A47B81/00 A47B96/02 A47B97/00 B08B5/02 B08B13/00
IPC结构图谱
A
A部——人类生活必需
A47
家具；家庭用的物品或设备；咖啡磨；香料磨；一般吸尘器
A47B
桌子；写字台；办公家具；柜橱；抽屉；家具的一般零件
A47B81/00
专门适用于其他特殊用途的柜橱、架或搁板组件，例如存放枪支或滑雪橇
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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