基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构
授权
摘要
一种基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构,包括机架和补光灯,机架上垂直设置有导轨,在机架上导轨的一侧设置有主动轮和从动轮,主动轮和从动轮通过张紧的同步带传动,从动轮与机架转动连接,主动轮与机架内的电机的转轴固定连接,所述同步带上靠近导轨的一侧设有齿套,齿套与连杆一端固定连接,连杆的另一端与导轨上适配的滑块固定连接,所述连杆上设有固定套,固定套内固定连接有垂直设置的吸杆,所述机架底部设有补光灯,与现有技术相比,适用于人工免疫技术检测芯片表面缺陷时暗场灯光的布置需要,且减少机械手的运动轨迹。
基本信息
专利标题 :
基于人工免疫技术的芯片表面缺陷检测提取机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122674389.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-03
授权号 :
CN216208650U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
周小军谭薇
申请人 :
周小军;甘肃工业职业技术学院
申请人地址 :
甘肃省天水市甘肃工业职业技术学院
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202122674389.6
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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