本实用新型公开了一种高纯多晶硅生产系统，包括还原装置、尾气回收装置、精馏塔组一、反应器一、精馏塔组二、氢化装置、渣浆装置、精馏塔组三和反应器二；其中精馏塔组一的底部出口通过四氯化硅源一连接到反应器一的入口，精馏塔组一的顶部出口通过二氯二氢硅源一连接到反应器二的入口，精馏塔组二的底部出口通过四氯化硅源三连接到反应器二的入口，精馏塔组二的上部出口和精馏塔组三的上部入口连接，精馏塔组三的顶部出口通过二氯二氢硅源二连接到反应器一的入口，反应器一的出口通过产品一和精馏塔组二的上部入口连接，反应器二的出口通过产品二和精馏塔组二的下部进口连接。本实用新型的高纯多晶硅生产系统可以反应和分离甲基一氯硅烷、甲基二氯硅烷，可用于生产高纯太阳能级和电子级多晶硅。