一种超高纯多晶硅及硅衍生物生产工艺及生产系统

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摘要

本发明提出一种超高纯多晶硅及硅衍生物生产工艺及生产系统，通过开发吸附络合‑高效精馏三氯氢硅纯化技术制备电子级三氯氢硅，以电子级三氯氢硅为原料进一步制备电子级二氯二氢硅，开发光催化反应‑高效精馏纯化技术制备光纤四氯化硅，并以光纤四氯化硅为原料进一步制备电子级正硅酸乙酯。本发明以高纯区熔级多晶硅制造为中心，将物料流进行内循环和再利用，实现副产物的减量化和资源化，形成协同产品链，发挥协同效应，对公辅系统进行集成，相关产品制造装置实现共享，减少装置数量和系统投资。

基本信息

专利标题：

一种超高纯多晶硅及硅衍生物生产工艺及生产系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN114180578A

申请号：

CN202210141190.3

公开（公告）日：

2022-03-15

申请日：

2022-02-16

授权号：

CN114180578B

授权日：

2022-05-17

发明人：

万烨刘见华严大洲赵宇陈辉郭树虎赵雄常欣张园园

申请人：

中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司

申请人地址：

北京市海淀区复兴路12号

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

杜月

优先权：

CN202210141190.3

主分类号：

C01B33/035

IPC分类号：

C01B33/035 C07F7/04 C01B33/107 C01B3/56