一种晶棒探照装置用上料机械手
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶棒探照装置用上料机械手,涉及晶棒检测设备领域，包括基座，基座下平面设有吸附晶棒的吸盘，基座两侧均固定连接有驱动电机，驱动电机的输出轴与晶棒长边方向平行，两驱动电机的输出轴上固定连接有两镜像布置的L型防护板，L型防护板包括侧板和底板，侧板一端与驱动电机的输出轴相连，另一端连接底板，晶棒位于两侧板之间，两底板位于同一水平面且位于晶棒下方，两底板间存在间隙。本实用新型中增加了防护板结构，达到了对晶棒进行有效保护的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种晶棒探照装置用上料机械手
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122862100.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
CN216638114U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
邹昕宇陈列波
申请人 ：
无锡中环应用材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
代理机构 ：
无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高坤明
优先权 ：
CN202122862100.3
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91 B65G49/05
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
