一种晶棒开方上料夹持装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种晶棒开方上料夹持装置，属于晶硅加工技术领域，包括底座，所述底座上设有工作台和对中组件，所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件，支撑座用于支撑晶棒，上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部，对中组件用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面，实现对中操作，驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着底座上的导轨滑动，实现上料，本实用新型借助上料压紧组件可适应圆形、方形和菱形不同形状的晶棒夹持，省去了上下晶棒时的大量辅助时间，采用上下压紧的方式夹持住晶棒，夹持稳定，同时，借助对中组件提高对中精度，使晶棒长度方向平行于导轨方向，确保开方垂直度，借助驱动组件提高工作台横向移动精度。
基本信息
专利标题 ：
一种晶棒开方上料夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921031413.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-03
授权号 ：
CN210910672U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
解培玉段景波徐公志王宝超于秀升
申请人 ：
青岛高测科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张明利
优先权 ：
CN201921031413.0
主分类号 ：
B28D5/00
IPC分类号 ：
B28D5/00 B28D7/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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