接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置
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摘要
一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置，包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接；本实用新型依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，通过将定位件固定在工作台面上，可以使接着后晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动。
基本信息
专利标题 ：
接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020598936.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-20
授权号 ：
CN212426245U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
赵延祥刘波程博马玉怀
申请人 ：
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
代理机构 ：
宁夏合天律师事务所
代理人 ：
孙彦虎
优先权 ：
CN202020598936.X
主分类号 ：
C30B35/00
IPC分类号 ：
C30B35/00 C30B29/06 B25B11/00 G01N19/04
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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