晶棒检测辅助装置
授权
摘要

本实用新型涉及检测设备领域,公开了一种晶棒检测辅助装置,包括主动辊、从动辊以及驱动件,所述主动辊与所述从动辊相互平行且间隔设置,以在两者之间形成供晶棒平行放置的空间,且使晶棒的两侧分别抵接于所述主动辊和所述从动辊,所述驱动件用于驱动所述主动辊转动。本实用新型采用平行且间隔设置的主动辊和从动辊来承托晶棒,在对晶棒进行检测时,将晶棒放置在主动辊和从动辊上,然后通过驱动主动辊转动即能够带动晶棒进行转动,且从动辊受到晶棒的摩擦会随晶棒一同转动,因此不会产生对晶棒的磨损,避免晶棒损坏,同时通过主动辊和从动辊承托晶棒代替了人工手持的方式,使得尺寸较大的晶棒也能够顺利进行检测,提升了检测效率。

基本信息
专利标题 :
晶棒检测辅助装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123336739.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-27
授权号 :
CN216747458U
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
万建军宋亚滨翟虎陆继波陈桥玉赵亨山
申请人 :
甘肃旭晶新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请人地址 :
甘肃省酒泉市肃州区经济技术开发区(西园)科研孵化园5号楼501
代理机构 :
北京润平知识产权代理有限公司
代理人 :
吴瑛
优先权 :
CN202123336739.4
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-06-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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