一种晶棒检测用防冲击装置

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摘要

本实用新型公开了一种晶棒检测用防冲击装置，包括缓冲装置、位移传感器和测量设备，所述缓冲装置包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分，晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器一侧之间的挡板和缓冲板，所述挡板靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板。本实用新型在晶棒的两头的下方，布置两组缓冲机构，当晶棒下降时，晶棒两端先接触到缓冲机构，从而降低了晶棒在放置的过程中对设备造成碰撞；在晶棒的两个头部和位移传感器之间，各布置一块挡板，当误操作发生时，先损坏的是挡板，而不是贵重的位移传感器；在晶棒可能会碰到的位置上安装硬度较小的材质，可以保护晶棒的不被破坏。

基本信息

专利标题：

一种晶棒检测用防冲击装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921226388.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-31

授权号：

CN210070883U

授权日：

2020-02-14

发明人：

韩锐周意和孟兆鸿

申请人：

杭州海内自动化设备有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区桥南区块高新十三路9号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921226388.1

主分类号：

G01B21/00

IPC分类号：

G01B21/00 B25B11/00