本实用新型公开了一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，包括箱体、过滤器和收纳器，所述箱体的正面安装有显示屏，所述箱体的顶部安装有顶盖，所述顶盖的内壁安装有两组固定板，所述顶盖的内壁安装有过滤器，且过滤器位于固定板的一侧，所述排气管的顶端安装有通气管，所述箱体的内壁安装有收纳器。本实用新型通过安装有过滤器和通气管将挥发后气体中含有的颗粒物过滤，当半导体表面有机物被紫外线臭氧灯反应变化为气体后，气体上升进入到过滤器的内部，气体进入到过滤器的内部后分化进入到排气管的内部，过滤板将气体中携带的污染颗粒过滤，净化后的气体进入到通气管的内部，排气扇转动将净化后的气体排放至箱体的外部，达到净化气体的目的。