一种真空介质镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种真空介质镀膜机。包括真空室、给真空室抽真空的真空系统、卷绕系统、卷绕车、蒸发系统和蒸发车；所述真空室呈圆筒状结构，设有卷绕系统入口和蒸发系统入口；所述卷绕系统的主辊下方设置翻转式的蒸发窗口，所述蒸发窗口的一端安装有驱动蒸发窗口翻转的减速电机。本实用新型的采用双开式设计，即在完成镀膜后，在卷绕车和蒸发车的驱动下，卷绕系统和蒸发系统可同时开出真空室进行清理作业，大大提高了工作效率；采用翻转式的蒸发窗口，需清理时，蒸发窗口翻转，能方便清理维护蒸发窗口和主辊，降低设备维护时间和维护成本，提高设备利用率；同时，采用双排钼舟蒸发系统，设备效率提高一倍。
基本信息
专利标题 ：
一种真空介质镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122914801.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216550667U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
王用兵刘华伟
申请人 ：
山东省宝丰镀膜有限公司
申请人地址 ：
山东省潍坊市青州市经济开发区金顺路西侧
代理机构 ：
济南方宇专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
史长敏
优先权 ：
CN202122914801.7
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/06 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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