一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置，属于薄膜制备领域，该装置包括筒体(1)、柔性基底(2)和加热夹套(3)，所述柔性基底(2)设置在所述筒体(1)的内壁上，所述加热夹套(3)设置在所述筒体(1)的外壁上；所述筒体(1)中设有刮板转子，所述筒体(1)上端设有料液入口(4)，所述筒体(1)下端设有料液出口(5)。本实用新型将柔性基底(2)卷成圆形置于所述筒体(1)与刮板转子之间，液体在自身向下的重力和转子刮板的旋转运动作用下在基底上形成液膜薄层，加热夹套(3)对基底进行加热使其更容易结晶成膜，可高效制备均匀的大面积薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122931617.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
CN216727962U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
曹玲玲鲍守珍南辉徐丽丽成世杰梁哲
申请人 ：
亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请人地址 ：
青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
代理机构 ：
成都华风专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
张巨箭
优先权 ：
CN202122931617.3
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 B05C11/10 H01L51/48
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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