一种半导体晶圆厚度检测平台
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摘要

本实用新型公开了一种半导体晶圆厚度检测平台,包括底座和检测台,所述检测台的侧面设有安装板,所述安装板上设有稳固板、马达和螺杆,所述稳固板分布在马达和螺杆之间,所述马达和螺杆的一端连接,所述螺杆的外侧设有滑动块,所述滑动块上设有连接杆,所述连接杆的外侧套设有清理筒,所述检测台的圆心位置设有升降气缸,所述升降气缸的顶部设有连接块,所述连接块的表面设有放置板;晶圆放置在放置板,升降气缸运行及放置板上移,晶圆边侧悬空,便于取下晶圆,避免检测台与晶圆之间发生摩擦,马达运行,螺杆旋转,连接杆、清理筒随滑动块同向滑动,清理筒擦拭清理检测台、放置板表面,避免检测台、放置板表面粘附的杂质与放置的晶圆摩擦。

基本信息
专利标题 :
一种半导体晶圆厚度检测平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122991110.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-01
授权号 :
CN216348483U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
王燕平秦志强刘锋
申请人 :
津上智造智能科技江苏有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区净慧东道66号4号楼1楼101室
代理机构 :
无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
宋春荣
优先权 :
CN202122991110.7
主分类号 :
G01B21/08
IPC分类号 :
G01B21/08  B08B1/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B21/08
用于计量厚度
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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