一种用于半导体晶片厚度的检测装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及半导体晶片检测设备技术领域,且公开了一种用于半导体晶片厚度的检测装置,包括:检测仪和底座,检测仪安装在底座的顶部。该检测半导体晶片厚度的检测装置,通过设置第一定位块、第二定位块、定位机构、刻度尺和移动机构,分别拧松两个定位机构的定位旋钮,分别松开第一定位块和第二定位块,根据晶片的尺寸分别调整第一定位块和第二定位块的位置,根据刻度尺上的刻度方便进行位置确定,拧紧定位旋钮,使第一定位块和第二定位块的位置固定,晶片放置在弹性垫上通过移动机构推送至检测仪检测头的下方,晶片的表面分别与第一定位块和第二定位块的表面相贴,实现快速定位,减小了人工定位产生的误差,提高测量结果的准确性。
基本信息
专利标题 :
一种用于半导体晶片厚度的检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114543628A
申请号 :
CN202210311330.7
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
单黎羚张乐彭保生李振东王毅黄丽慧梁春晓皮进孙寿福
申请人 :
深圳市赢创智联科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区西乡街道南昌社区南昌第三工业区裕兴科技工业园F栋712
代理机构 :
苏州和氏璧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王小蓓
优先权 :
CN202210311330.7
主分类号 :
G01B5/06
IPC分类号 :
G01B5/06 B25H1/02 B25H1/10 B25H1/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B5/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 5/06
申请日 : 20220328
申请日 : 20220328
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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