一种半导体晶片厚度的检测装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体晶片厚度的检测装置,包括底板,所述底板的上方中央处与放置盒固定连接,所述放置盒的内壁底端与若干个呈线性阵列状等距离分布的复位弹簧的一端固定连接,若干个复位弹簧的另一端与防护板固定连接,所述防护板的一侧固定连接有测量条,所述测量条通过底板侧壁上所开设的滑动槽延伸至外部并与测量杆固定连接,所述测量杆的上方与套接杆固定连接,所述套接杆的外壁上通过连接杆与放大镜固定连接。该装置通过设置有复位弹簧等组件,可以在对晶片进行厚度测量的同时通过测量杆和放大镜配合使用达到让检测人员直观的看到晶片厚度,而且可以防止硬性碰撞对晶体造成的损伤,保证其使用寿命。

基本信息
专利标题 :
一种半导体晶片厚度的检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123291375.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-25
授权号 :
CN216694746U
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
毕可新
申请人 :
沈阳晶润半导体材料有限公司
申请人地址 :
辽宁省沈阳市经济技术开发区开发二十五号路123-9号
代理机构 :
深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司
代理人 :
罗炳锋
优先权 :
CN202123291375.2
主分类号 :
G01B5/06
IPC分类号 :
G01B5/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B5/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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