一种全自动晶圆缺陷检测装置用固定夹持机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种全自动晶圆缺陷检测装置用固定夹持机构，涉及晶圆缺陷检测技术领域，为解决现有的晶圆缺陷检测对晶圆的固定不够方便的问题。所述固定外壳的内部安装有升降装置，且升降装置与固定外壳固定连接，所述升降装置的上端安装有固定板，所述固定板的上端安装有第一驱动电机，且第一驱动电机与固定板通过电机固定架与固定板连接，所述第一驱动电机的上端安装有固定内壳，所述固定内壳的上端安装有放置台，且放置台与固定内壳固定连接，所述放置台的上端安装有密封垫，且密封垫与放置台固定连接。
基本信息
专利标题 ：
一种全自动晶圆缺陷检测装置用固定夹持机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123002703.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-02
授权号 ：
CN216485384U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
王辉文单娜
申请人 ：
武汉驿天诺科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷三路777号
代理机构 ：
苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李锋
优先权 ：
CN202123002703.2
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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