本实用新型公开了一种铜箔厚度测量探针及其探测头，包括用于接触铜箔测量面的针杆，针杆的一端插置于针管内，针杆在针管内作轴向运动；所述针管内设置弹簧，弹簧抵住针杆以使针杆在弹簧力作用下紧密地接触铜箔测量面，多根探针穿过锥座且通过导电线与航空插座连接，该探头采用导电弹性针杆与覆铜板铜箔表面接触，避免了对铜箔材料造成机械损伤，能够保证测量的良好电学接触，保证了方块电阻测量数据的准确度和重复性以及再现性，各条探针之间根据待测平面受力略有不同，能够实时适应各种差异性的平面，真实地反映接触点的准确测量数据，提高测量精度。