等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备
授权
摘要
本申请公开了一种等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备，等离子喷涂设备包括电离喷射机构、气体输送通道以及介质输送机构。气体输送通道与电离喷射机构连通并用于向电离喷射机构输送气体，电离喷射机构用于电离气体。介质输送机构包括送料通道以及设于送料通道中的螺旋送料器，送料通道与电离喷射机构连通，螺旋送料器用于将送料通道内的介质输送至电离喷射机构中，以将介质熔化并喷出。本申请实施例提供的等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备，能够精确控制介质喷出量，解决介质喷射量无法精确控制导致的成膜质量低的问题。
基本信息
专利标题 ：
等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123269140.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
CN216698399U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
林维乐陈国栋刘召辉王燕东郭永胜
申请人 ：
宁德时代新能源科技股份有限公司
申请人地址 ：
福建省宁德市蕉城区漳湾镇新港路2号
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
娜拉
优先权 ：
CN202123269140.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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