一种手动探针测试工作台
授权
摘要

本申请公开一种手动探针测试工作台,包括载台底座、XY轴移动平台、Z轴移动平台和测试装置;所述XY轴移动平台以能够在水平方向移动的方式被设置于所述载台底座,且所述XY轴移动平台的顶面设置有绝缘座,所述绝缘座的顶部设置有铜板;所述Z轴移动平台以能够在竖直方向移动的方式被设置于所述载台底座,并位于所述XY轴移动平台的正上方,所述Z轴移动平台于水平方向设置有正对所述铜板的环形槽;所述测试装置包括显像元件和探边元件,其中所述显像元件以在所述Z轴移动平台的上方正对所述铜板的方式固定设置于所述载台底座,所述探边元件被固定设置于所述环形槽的侧壁。本申请能够快速、稳定、准确的测试半导体元件,尤其是小颗粒晶体。

基本信息
专利标题 :
一种手动探针测试工作台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123357576.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
CN216646581U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
孟恒刘君孔鲁
申请人 :
山东晶导微电子股份有限公司
申请人地址 :
山东省济宁市曲阜市春秋东路166号
代理机构 :
济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
苟莎
优先权 :
CN202123357576.8
主分类号 :
G01R1/04
IPC分类号 :
G01R1/04  G01R1/067  B25B11/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳;支承构件;端子装置
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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