石墨夹头结构及还原炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种石墨夹头结构及还原炉,涉及多晶硅生产技术领域,主要目的是避免石墨夹头传热太快导致的在夹头与硅棒结合处沉积的多晶硅量不足,出现的电流过载,局部高温熔融而倒棒的问题。本实用新型的主要技术方案为:石墨夹头结构,其包括:底座和夹头体;底座设有下端凹槽和上端凹槽,底座位于下端凹槽和上端凹槽之间的部分设有贯通孔道,用于连通下端凹槽和上端凹槽,底座通过下端凹槽套接于底盘电极,底座的轴侧设有环形槽;夹头体的下端插接于上端凹槽,夹头体的上端设有硅芯孔槽,夹头体位于硅芯孔槽下方的部分设有中心孔道,中心孔道对应于贯通孔道。
基本信息
专利标题 :
石墨夹头结构及还原炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123407500.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
CN216472266U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
邹仁苏杨涛
申请人 :
新疆大全新能源股份有限公司
申请人地址 :
新疆维吾尔自治区石河子经济开发区化工新材料产业园纬六路16号
代理机构 :
北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孟阿妮
优先权 :
CN202123407500.1
主分类号 :
C01B33/035
IPC分类号 :
C01B33/035
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下,或在存在热硅棒情况下,用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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