蓝膜与摇盘晶片兼容机构
授权
摘要
本实用新型提供蓝膜与摇盘晶片兼容机构，包括：基座、前固定机构、后固定机构、可调节锁；所述前固定机构固定安装在所述基座的前端，所述后固定机构右端可旋转的安装在所述基座中间的右侧，所述可调节锁将所述后固定机构的左端进行固定；所述前固定机构和所述后固定机构组合构成一个圆形固定空间，经可调节锁的距离调节兼容蓝膜和摇盘晶片。本实用新型一套结构同时满足蓝膜、摇盘晶片的固定，设计结构简单，通用性强，减少客户成本。
基本信息
专利标题 ：
蓝膜与摇盘晶片兼容机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123448663.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216563076U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
唐文轩杨世国王平
申请人 ：
深圳市微恒自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区富盛路14号B栋101、201、202、301
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
王建成
优先权 ：
CN202123448663.4
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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