镀覆装置以及镀覆装置的接触部件清洗方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及镀覆装置以及镀覆装置的接触部件清洗方法。本发明提供一种能够通过简单的构造来清洗接触部件的技术。镀覆装置(1000)具备镀覆槽、基板保持件(20)、旋转机构、升降机构、接触部件(40)、以及清洗接触部件(40)的清洗装置(50)，清洗装置(50)具有回转轴(51)、第一臂(53)、第二臂(54)、以及具有至少一个喷出口的喷嘴(55)，上述清洗装置(50)构成为通过从喷出口喷出的清洗流体碰触接触部件(40)来清洗接触部件(40)。
基本信息
专利标题 ：
镀覆装置以及镀覆装置的接触部件清洗方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114555870A
申请号 ：
CN202180005685.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-03-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
关正也富田正辉张绍华
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡乃锐
优先权 ：
CN202180005685.7
主分类号 ：
C25D17/00
IPC分类号 ：
C25D17/00 C25D17/02 C25D17/10 C25D21/00 C25D21/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 17/00
申请日 : 20210317
申请日 : 20210317
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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