一种微波等离子体控制系统和方法
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提出一种微波等离子体控制系统和方法，包括均与主控装置通信连接的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置；主控装置用于根据目标参数和采集的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置的工作数据，向气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置分别发送对应的控制指令；气路控制装置用于根据控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；真空压力控制装置用于根据控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；水路控制装置用于根据控制指令控制样品台温度和水流量。其能够保证籽晶表面均匀沉积，并提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种微波等离子体控制系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114334596A
申请号 ：
CN202210005959.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-01-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
何磊李俊宏李家瑞韦明勉邱银娟李东亚
申请人 ：
成都沃特塞恩电子技术有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区益州大道中段1800号3栋3层301号
代理机构 ：
北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
孔鹏
优先权 ：
CN202210005959.9
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20220104
申请日 : 20220104
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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