一种芯片烘烤全自动监控方法及设备
实质审查的生效
摘要

本发明涉及监控装置技术领域,具体涉及一种芯片烘烤全自动监控方法及设备,包括烘烤机构和监控机构;烘烤机构包括烘箱、箱门、驱动组件、连接组件和托盘,监控机构包括转轴、皮带、圆环、凸块、第一齿条、安装壳和监控模块,驱动组件驱动皮带带动转轴转动,转轴转动时带动圆环上的凸块转动,凸块转动时驱动第一齿条带动安装壳内的监控模块滑出烘箱,在驱动组件驱动皮带转动的同时,驱动连接组件带动托盘滑出烘箱内侧壁,当托盘上的芯片滑出烘箱内时,安装壳内的监控模块的数据采集端完全显露,即可对托盘上的芯片进行数据采集,解决托盘和监控模块需要单独配置驱动组件驱动移动,增加了生产成本的问题。

基本信息
专利标题 :
一种芯片烘烤全自动监控方法及设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114512422A
申请号 :
CN202210006629.1
公开(公告)日 :
2022-05-17
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
屈显波谈勇王波
申请人 :
桂林芯飞光电子科技有限公司
申请人地址 :
广西壮族自治区桂林市七星区朝阳路北侧、信息产业园内D-14号地块
代理机构 :
桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张学平
优先权 :
CN202210006629.1
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-06-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220105
2022-05-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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