一种芯片热点的温度测量结构及方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开一种芯片热点的温度测量结构及方法,涉及半导体封装散热领域。所述芯片热点的温度测量结构包括:热电堆测温单元、芯片单元、微流散热单元和冷却工质供应单元;所述热电堆测温单元设置在所述芯片单元一侧,所述微流散热单元位于所述芯片单元的另一侧,所述冷却工质供应单元位于所述微流散热单元远离所述芯片单元的一侧;所述热电堆测温单元,基于多个所述实时温度值及多个所述温度差值,确定所述芯片的多个所述热点的最高温度值和最大温度差值,用以基于所述最高温度值和所述最大温度差值确定所述芯片的性能参数,实现对微流散热性能的精准评估和芯片工作状态的实时精准监测,还提高了测温方法的准确性和可靠性。

基本信息
专利标题 :
一种芯片热点的温度测量结构及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114354008A
申请号 :
CN202210032049.X
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
孔延梅从波刘瑞文焦斌斌
申请人 :
中国科学院微电子研究所
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 :
王胜利
优先权 :
CN202210032049.X
主分类号 :
G01K13/00
IPC分类号 :
G01K13/00  H01L23/34  H01L23/473  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01K
温度测量;热量测量;未列入其他类目的热敏元件
G01K13/00
特殊用途温度计
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01K 13/00
申请日 : 20220112
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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