本发明提供了一种环境控制装置及半导体设备，环境控制装置用于为精密测量系统提供所需环境，精密测量系统设置于一壳体中，并包括：送风组件，气浴末端，以及连接送风组件与气浴末端的风管，气浴末端包括若干与壳体固定的减震连杆组件，以及用于改善气流分布的静压腔，自静压腔流出的气体通入壳体。在本发明中，通过在围合精密测量系统的壳体中设置若干与壳体固定的减震连杆组件及用于改善气流分布的静压腔，改善了送风气流组织，消除了向壳体内输送空气对壳体内部空气流动产生振动及噪音的不良现象。