一种光学自对准极低温测试系统
实质审查的生效
摘要

本发明的一种光学自对准极低温测试系统包括低温冷源模块、吸附式制冷模块及光学自对准模块,低温冷源模块与吸附式制冷模块横向并排排布,降低了极低温测试系统的高度,方便后续的拆卸安装;低温冷源模块的真空罩与吸附式制冷模块的吸附级真空罩相连通,通过同一真空泵提供真空环境,减少空气对流造成的热损失;两级封闭低温环境,可减少系统对待测器件的辐射漏热,提供恒定的极低温环境,保证器件正常工作;设置可拆卸的吸附级真空密封板、吸附级一级冷板与吸附级二级冷板,简单方便地更换器件、滤波片、光纤;能够兼容光纤和自由空间这两种真空光传播方式,突破传统壁垒,大大提高光学自对准极低温测试系统的应用范围。

基本信息
专利标题 :
一种光学自对准极低温测试系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114383811A
申请号 :
CN202210049463.1
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2022-01-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
余慧勤周慧潘一铭李浩尤立星
申请人 :
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 :
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 :
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 :
余明伟
优先权 :
CN202210049463.1
主分类号 :
G01M11/00
IPC分类号 :
G01M11/00  F25B25/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试;其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/00
申请日 : 20220117
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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