低温测试系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种低温测试系统，所述低温测试系统包括固定平台、真空罩、制冷装置及探测装置；所述制冷装置包括制冷机、一级冷头、二级冷头、一级制冷冷平台及二级制冷冷平台；所述探测装置包括：室温端面板、一级探测冷平台、二级探测冷平台、芯片放置台及磁屏蔽罩。通过本发明解决了现有的需要液氦提供测试环境以及测试系统降温时间较长、芯片更换不方便的问题。
基本信息
专利标题 ：
低温测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114353975A
申请号 ：
CN202111670181.5
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
余慧勤李凌云汪书娜原蒲升尤立星
申请人 ：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
林丽丽
优先权 ：
CN202111670181.5
主分类号 ：
G01K7/00
IPC分类号 ：
G01K7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K7/00
以利用直接对热敏感的电或磁性元件为基础的温度测量
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01K 7/00
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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