本发明提供了低温高速测试治具，包括机体组件和测试机构，所述机体组件包括机架、供给模组、凸轮下压模组、取料模组和基座；所述测试机构包括制冷盘、柔性软板、母板、RF检测模组、子板、制冷电机和置物板；所述机架上表面中部安装有供给模组，所述供给模组的底部贯穿机架的内侧壁且安装有凸轮下压模组，本发明通过凸轮下压模组将需要测试的软板反向放置在置物板内，然后利用吸附孔对软板进行吸附固定，然后通过制冷盘对软板进行降温，然后通过柔性软板对软板传递，然后通过RF检测模组对软板进行高频测试，从而可以低温高速的对软板进行测试，进而降低了高温对软板的影响，保证了测试效果，提高了测试效率。