本发明涉及集成电路生产技术领域，具体为一种用于集成电路生产线的离子注入机，包括离子注入机构、照射箱和外架，离子注入机构的底端连接有照射箱,离子注入机构的照射箱的外部固定有外架，照射箱的开口端处封堵有箱门，照射箱中设置有扰流机构，扰流机构一端延伸到照射箱外部，照射箱的底部壳体上连通有若干排气管，本发明通过向照射箱中注入若干股冲击气流，从而将照射箱中附着的灰尘冲击飘起来，进而伴随气流外排，使照射箱中快速恢复无尘环境，气流通过扰流机构扩散出来，气流流经扰流机构时触发扰流机构的持续形变，这样从扰流机构上喷出的若干股气流会持续的改变方向，实现照射箱中的无死角气流冲击效果。