一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，包括箱体、显示屏、按钮、进液口、排液口、移动装置、固定装置、清洗装置、风干装置、加热板。本装置通过洗板水将芯片表面的松香以及残留物进行浸泡，然后超声发生器通过超声波换能器放射超声波经过振动面钢板，作用于洗板水，对物体表面的污物进行撞击、剥离、以达到清洗的目的，它具有清洗洁净度高，清洗速度快等特点，并在清洗工作完成之后能够通过风机将残余的洗板水风干，加速清洗效率，本装置通过夹板与固定板以及弹簧之间的相互作用力将工件固定送往洗板水，避免了工作人员与洗板水的接触。
基本信息
专利标题 ：
一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021584914.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN212944375U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
郝东方
申请人 ：
江西芯诚微电子有限公司
申请人地址 ：
江西省南昌市临空经济区嘉和一路28号
代理机构 ：
南昌金轩知识产权代理有限公司
代理人 ：
石红丽
优先权 ：
CN202021584914.4
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
