一种用于集成电路芯片制造的检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及集成电路芯片生产技术领域,且公开了一种用于集成电路芯片制造的检测装置,包括机架、电子显微镜与显示屏,所述机架的右侧固定有保护壳,所述机架的内部设置有数量为两个且横向延伸至保护壳内部的丝杆,所述保护壳的顶部固定有与两个丝杆传动连接的驱动电机,两个所述丝杆的外部设置有可横向活动的电动滑台,所述电动滑台的内部设置有延伸至电动滑台背面的连接件,所述连接件与电子显微镜固定连接,所述机架的内部固定安装有数量为两个且左右对称的连接架。该用于集成电路芯片制造的检测装置,可与芯片传输线进行对接,无需人工进行芯片的安装拾取与检测时的移动操作,操作更为简单方便,可有效提高检测效率。
基本信息
专利标题 :
一种用于集成电路芯片制造的检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123089856.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
CN216525513U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
贾苏媛
申请人 :
江苏望华高新科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市雨花台区板桥街道永安社区江谷路2号136
代理机构 :
武汉领君知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
程欣
优先权 :
CN202123089856.5
主分类号 :
G01N21/95
IPC分类号 :
G01N21/95 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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