本发明公开了一种微流控装置及其驱动方法、制作方法，属于微流控技术领域，微流控装置包括第一基板和第二基板，第一基板和第二基板均为平整基板；第一基板一侧包括电极阵列层，第二基板一侧还包括第二电极层；电极阵列层至少包括多个第一电极和多个第二电极；第一基板包括第一区和第二区，第一电极位于第一区，第二电极位于第二区；第一区的第一基板和第二基板之间的距离D1大于第二区的第一基板和第二基板之间的距离D2。驱动方法应用于上述微流控装置工作。制作方法用于制作上述微流控装置。本发明能够兼容不同大小液滴的驱动，实现各类液滴的分裂或混合的操作，优化数字微流控液滴的产生、分离、混合等操作性能。