一种PZT驱动微间隙标准具制作方法
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摘要

本发明涉及一种PZT驱动微间隙标准具制作方法,包括以下步骤:1)刻槽:利用飞秒激光分别在第一光纤、第二光纤和第三光纤的一端面刻蚀出第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽;2)制光学表面:通过微熔或者抛光分别将第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽的表面制成光学级的光学表面;3)镀膜:对第一微平凹槽、第二光纤的另一端面、第二微平凹槽和第三微球形凹槽镀膜;4)抛光:对第一光纤、第二光纤和第三光纤的一端面进行抛光;5)熔接:将抛光后的第一光纤与第二光纤的一端面熔接成一体;6)制具:将第三光纤的一端面间隙设置在第二光纤的另一端面,第三光纤由PZT驱动器带动沿光路方向微移动以微调节间隙大小,第二微平凹槽的HR膜面与第三微球形凹槽的HR膜面构成平凹结构光纤标准具的谐振腔。

基本信息
专利标题 :
一种PZT驱动微间隙标准具制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111230310A
申请号 :
CN201811444596.9
公开(公告)日 :
2020-06-05
申请日 :
2018-11-29
授权号 :
CN111230310B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
吴砺贺坤方向一
申请人 :
福州高意光学有限公司
申请人地址 :
福建省福州市晋安区福新东路253号中航技工业小区
代理机构 :
福州君诚知识产权代理有限公司
代理人 :
戴雨君
优先权 :
CN201811444596.9
主分类号 :
B23K26/362
IPC分类号 :
B23K26/362  B24B7/16  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2022-05-13 :
授权
2021-07-23 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/362
申请日 : 20181129
2020-06-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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