本发明公开了一种单晶硅片表面处理装置，涉及单晶硅片加工技术领域，包括底座、支撑座和抛光板，所述底座的顶部外侧设置有转动组件，所述支撑座安置于转动组件的顶部外侧，所述支撑座的顶部外侧连接有吸盘座，且支撑座的外端连接有螺纹座，所述螺纹座的内侧设置有丝杠。本发明支撑座旋转的过程中，抬升座底部的平滑滚珠能对支撑座支撑，这使得抬升座能在支撑座旋转过程中对支撑座进行支撑，同时平滑滚珠能极大的降低支撑座在转动过程中的晃动，这使得单晶硅片的抛光稳定性可以得到提升，此外通过采用使单晶硅片旋转而抛光条静置的方式进行抛光，能使施加力点处于单晶硅片一侧，这使得单晶硅片在抛光过程中破损的概率能进一步降低。