一种单晶硅片加工用表面清理设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片加工用表面清理设备,包括支撑机构,支撑机构上端固定连接有清理机构,清理机构下方设有放置机构,将单晶硅片放置于放置机构中的放置槽内,再启动支撑机构中的气缸,气缸伸缩带动放置盒进行上升,再通过启动清理机构中的电机,电机转动带动固定块与清理条进行转动,再通过放置槽内的单晶硅片上表面与清理条接触进行清理,清理完成再通过推动推杆,使固定杆推出放置槽外,同时带动单晶硅片露出放置槽外,再通过托住单晶硅片没清理一面拿取,有效的实现了现有的单晶硅片加工清理,无需人工进行清理,清理效率提高,同时拿取的时候不会碰到刚清理的表面,清理面积均匀。

基本信息
专利标题 :
一种单晶硅片加工用表面清理设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020201862.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-24
授权号 :
CN211914714U
授权日 :
2020-11-13
发明人 :
庄智慧
申请人 :
上海合晶硅材料股份有限公司
申请人地址 :
上海市松江区石湖荡镇长塔路558号
代理机构 :
上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
倪继祖
优先权 :
CN202020201862.1
主分类号 :
B08B1/04
IPC分类号 :
B08B1/04  B08B13/00  H01L21/687  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/04
利用旋转动作的构件
法律状态
2020-11-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211914714U.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332