本发明的一种基于太赫兹固态源的干涉相位检测系统，包括两个固体太赫兹微波源并列设置对应形成两个光路；混频器包括两个，分别设置在相位差待测区域的一侧，呈对立设置；第一光路为第一太赫兹固体源的光源出光经透镜汇聚后经反射镜反射，经分束器后一部分反射后再经另一个分束器透射到达混频器一，另一部分透射进去待测区域后经反射镜反射再经分束器透射至混频器二方向；第二光路为第二太赫兹固体源的光源出光经透镜汇聚后经反射镜反射，经分束器后一部分反射后再经反射镜和分束器进入混频器一，另一部分直接经分束器反射后至混频器二。本发明采用太赫兹源代替传统的激光，可使得干涉相位诊断系统精度高、体积紧凑、易维护、稳定性高。