本发明涉及传感器技术领域，提供了一种声表面波传感器的制作方法，包括以下步骤：步骤a，光刻；步骤b，显影，形成叉指电极以及设置于叉指电极两侧的反射格栅；步骤c，镀膜；步骤d，利用套刻板与掩膜版对板，在圆晶上镀上金刚石膜层；步骤f，在套刻板背板上均匀涂敷纳米粒子涂覆层，使纳米粒子涂覆层涂覆在圆晶上；步骤e，将圆晶放入温控箱内烘干，使纳米粒子涂覆层固化。与现有技术相比，本发明能够实现耐高温声表面波传感的批量化生产，提高生产效率，有利于耐高温声表面波传感器的推广和使用。