一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法
公开
摘要
本发明提供一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法，包括：基底；设置在基底底部的传感电极、量子点层和底部填充层；所述基底顶部设有第一反射层和第一驱动电极；与所述第一反射层相对地设有第二反射层，所述第二反射层设置在支承梁底部，所述支承梁底部还设有第二驱动电极，所述支撑梁与两侧的悬臂梁连接，所述悬臂梁通过键合层与所述基底连接；所述第一反射层、第二反射层与之间的空气间隙构成法布里‑珀罗干涉腔。本发明还提供了上述芯片的制备方法。本发明的传感芯片直接集成量子点紫外传感与变间隙法布里‑珀罗干涉滤波腔，工艺成本低，集成度高，方便作为微型紫外光谱仪应用于手机、可穿戴便携设备的紧凑空间使用。
基本信息
专利标题 ：
一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582991A
申请号 ：
CN202210162068.4
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-02-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
匡文剑杨光灿烂陈圣杰黄孟强刘向陶治徐林华裴世鑫
申请人 ：
南京信息工程大学
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区宁六路219号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
孙昱
优先权 ：
CN202210162068.4
主分类号 ：
H01L31/0232
IPC分类号 ：
H01L31/0232 H01L31/0352 H01L31/09 H01L31/18 G01J3/02
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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