一种芯片工艺角检测电路、方法和芯片
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提供一种芯片工艺角检测电路、方法和芯片,该电路包括:对称振荡环RO及至少两个非对称振荡环ARO1和ARO2;所述对称振荡环RO,用于根据振荡次数检测所述芯片的SS、TT、FF工艺角,所述振荡次数是通过所述对称振荡环RO对应的计数单元获取;所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2,用于根据振荡次数检测所述芯片的FS、SF工艺角,所述振荡次数是通过所述非对称振荡环ARO1和所述非对称振荡环ARO2分别对应的计数单元获取。该电路增大了工艺角检测范围和工艺角检测的温度范围,提高了检测精度。
基本信息
专利标题 :
一种芯片工艺角检测电路、方法和芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114414999A
申请号 :
CN202210184553.1
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵东艳李德建杨小坤李可然王于波杨立新沈冲飞冯曦邵瑾
申请人 :
北京智芯微电子科技有限公司;国家电网有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
代理机构 :
北京润平知识产权代理有限公司
代理人 :
赵敏岑
优先权 :
CN202210184553.1
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28 H03K21/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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