本发明公开了一种超声波真空表面处理清洗方法，超声波清洗设备技术领域，选取密封型容器，并在密封型容器内设置液位传感器，将清洗溶液注入至密封型容器内，由液位传感器监测密封型容器内的清洗溶液的容量；将待清洗仪器放入至密封型容器内，然后关闭密封型容器。本发明中，通过超声波加以真空相结合的技术对待清洗仪器表面的油污进行清洗，且清洗后通过抽液泵抽出的清水零污染，可重复循环使用，整体工作时间为10‑20分钟，待清洗仪器表面的油污通过真空加高温粉碎后，会呈颗粒状沉积物沉淀下来，并不会同清水流出，对待清洗仪器的清洗效果更好，且不会待清洗仪器表面造成任何损伤，解决现行业内污染大，表面油污清洗不干净等问题。