使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法
公开
摘要
本发明涉及一种使用激光清洗机对掩模框架进行表面处理的方法。因此，其技术要点是使用激光清洗机来去除表面处理对象掩膜框架的表面污染物、异物以及杂质的方法，其特征在于，与现有技术相比从源头上排除了使用药品，从而显著改善工作环境和后处理工艺，由于在进行表面处理工作时通过自动化工艺完成，不仅大大缩短工作时间，而且节省劳动力并防止安全事故的发生，从而在降低成本的同时大大改善安全性和生产率，尤其是掩模框架本身的质量大幅提高，从而可以确保高质量的最终产品。
基本信息
专利标题 ：
使用激光清洗机的掩模框架表面处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114589166A
申请号 ：
CN202011581737.9
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔宗成
申请人 ：
A-成株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京润平知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘兵
优先权 ：
CN202011581737.9
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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